XXY संरेखण चरण, जिसे UVW संरेखण चरण भी कहा जाता है और XY the (थीटा) चरणों को उच्च परिशुद्धता संरेखण अनुप्रयोगों के लिए डिज़ाइन किया गया है। यह एक XY-plane में चलता है और XY-plane के केंद्र के चारों ओर घूमता है। शब्द संरेखण तालिका, या XY- रोटेशन चरण का उपयोग अक्सर XYment, XY-theta मंच या UVW चरण के साथ किया जाता है।
G स्तर 2μm, B स्तर 5μm, P स्तर 10μm क्रमशः से तीन सटीक ग्रेड में 10 मॉडल में उपलब्ध है, इन मॉडल में रैखिक यात्रा mm 5 मिमी है। इसके अतिरिक्त, XXY चरण XY विमान के केंद्र के चारों ओर to 5 डिग्री से degree 2 डिग्री तक घूम सकते हैं, जबकि क्षैतिज लोडिंग 10kg से 100kg तक हो सकती है।
सटीक संरेखण प्रौद्योगिकी के अनुप्रयोग
माइक्रो-मशीनरी, अल्ट्रा-सटीक मशीनिंग, नैनोटेक्नोलॉजी और सेमीकंडक्टर में अनुप्रयोगों की विस्तृत श्रृंखला
एक परिशुद्धता संरेखण प्रौद्योगिकी
मोटर और ड्राइवर, उच्च-रिज़ॉल्यूशन सटीक संरेखण चरण, सीसीडी कैमरा और छवि अधिग्रहण कार्ड, इमेज प्रोसेसिंग एल्गोरिदम सॉफ्टवेयर और नियंत्रण।
सबसे महत्वपूर्ण समझौता: उच्च-रिज़ॉल्यूशन सटीक संरेखण चरण।
अगला , हम संरेखण प्रणाली पर UVW / XXY संरेखण चरण के आंदोलन चरणों को पेश करेंगे।
चरण 1: रोबोट ऊपरी कांच की प्लेट को काम करने की अवस्था से ऊपर रखता है ताकि ऊपरी ग्लास प्लेट लक्ष्य लक्ष्य की स्थिति निर्धारित करने के लिए सीसीडी क्षेत्र के भीतर स्थित हो।
चरण 2: रोबोट निचले ग्लास प्लेट को रखता है और इसे काम करने वाले प्लेटफ़ॉर्म पर रखने से रोकता है ताकि लक्ष्य की स्थिति निर्धारित करने के लिए निचले ग्लास प्लेट का लक्ष्य सीसीडी क्षेत्र के भीतर हो।
चरण 3: निचले ग्लास प्लेट लक्ष्य और ऊपरी ग्लास प्लेट लक्ष्य के बीच सापेक्ष स्थिति अंतर के अनुसार, मोटर को चलाने के लिए UVW / XXY चरण की गति (X, Y, of) की गणना करने के लिए इमेज प्रोसेसिंग एल्गोरिदम का उपयोग किया जाता है। कम ग्लास प्लेट और ऊपरी प्लेट बनाने के लिए आंदोलन। कांच की प्लेट ठीक संरेखित है।
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XXY श्रृंखला परिशुद्धता संरेखण चरण:
XXY5M-01 परिशुद्धता संरेखण चरण:
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GXYZ श्रृंखला परिशुद्धता XYZ अक्ष मोटर चालित चरण:
GTXYZ सीरीज प्रिसिजन एक्सवाईजेड एक्सिस वेज मोटराइज्ड स्टेज:
